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质谱仪

高压四极质谱仪


特征

通过监控成膜工艺中的气体分压，感知可能存在的气体成分异常，返油，漏气等问题，该款质谱仪可以为工艺的稳定提供保障。可以用于2.0Pa以下的溅射工艺

※详细请咨询敝司


参数





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