FPA-6300ESW光刻机全面采用已获得市场好评的FPA-6300ES6a的各种设计，并通过改变投影倍率（1：4→1：3.125），使光罩尺寸还是6inch的条件下实现了大视场。由于它可以一次曝光33mm×42.2mm，因此它是一款无需拼接即可曝光全尺寸CMOS图像传感器的KrF扫描式光刻机。

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