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KrF

KrF扫描式光刻机


特征

FPA-6300ES6a光刻机用于大规模生产动态随机存取存储器（DRAM）、闪存和其他存储设备、逻辑器件如个人计算机用微处理器、滤色器和其他成像传感器及图像处理器件。


参数





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公司名称：佳能光学设备（上海）有限公司

联系地址：上海市静安区汶水路210号静安新业坊5号楼南楼3-4层

联系电话：021-2316-3200（总机）