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图像传感器

防反射膜用溅镀机


FC7100BSI

防反射膜用溅镀机


"FC7100是BSI图像传感器中的防反射膜用溅射设备。使用多年经验的斜角溅射配合基板旋转的技术达到防反射膜的均匀性，无对下层膜的损伤等工艺要求。双靶材同时溅射即可对应合金工艺亦可提高同金属的成膜速率。"


参数




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公司名称：佳能光学设备（上海）有限公司

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