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i-Line（前道）
FPA-5550iZ2 i-Line步进式光刻机
特征
佳能新型i线步进式光刻机FPA-5550iZ2具备了高产能和Mix-and-Match OVL性能。FPA-5550iZ2设备搭载了Shot Shape Compensator (SSC) 镜头单元，能够改善曝光区域内Shot的纵横倍率差以及镜头的失真形变。
参数
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公司名称：佳能光学设备（上海）有限公司
联系地址：上海市静安区汶水路210号静安新业坊5号楼南楼3-4层
联系电话：021-2316-3200（总机）