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KrF
KrF步进式光刻机
特征
FPA-3030EX6光刻机,支持模拟芯片制造,应用于物联网和Power Device的传感器和通信设备。FPA-3030EX6继承上一代FPA-3000EX6(1999年9月发布)的功能,同时也提供特殊基板和功能的兼容性,用于制造多种半导体器件。
参数
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公司名称:佳能光学设备(上海)有限公司
联系地址:上海市静安区汶水路210号静安新业坊5号楼南楼3-4层
联系电话:021-2316-3200(总机)