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低温泵
低温泵
特征
适用于真空工艺要求在10的-5到-8次方Pa的真空腔体.
佳能安内华的系列低温泵可对应开口8到22英寸的各种腔体. 并且由于拥有单独Valve构造，依据Motor回转方向可以切换Helium Gas充填及膨胀时机，降低再生时间。
※详细请咨询敝司
优点
No.1
冷冻机具有自发热功能
由于拥有单独Valve构造，依据Motor回转方向可以切换Helium Gas充填及膨胀时机，实行冷却Cycle或者发热Cycle模式。
No.2
通过最小限度的输出控制(Eco控制)实现
降低耗电量和O/H周期的长期化
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公司名称：佳能光学设备（上海）有限公司
联系地址：上海市静安区汶水路210号静安新业坊5号楼南楼3-4层
联系电话：021-2316-3200（总机）