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高端半导体光掩膜版铬板用溅镀机


EC77xx

高端半导体光掩膜版铬板用溅镀机


EC77xx是半导体高端光掩膜版铬版用溅射设备。使用独自的靶材和基板的offset及基板旋转溅射技术达到铬版要求的严格的膜均匀性及稳定性。多腔室设计可对应高端半导体铬版的多层膜要求。


参数




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公司名称：佳能光学设备（上海）有限公司

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