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存储器
ReRAM用溅镀机
NC7940
ReRAM用溅镀机
NC7940是非挥发存储器ReRAM的电极及电阻层用溅射设备。
多年的斜角溅射配合基板旋转技术经验可良好控制薄膜均匀性及ReRAM关键的金属不完全氧化工艺。
独自开发的ALD-like溅射工艺可良好控制超薄膜的氧化膜工艺。
参数
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公司名称：佳能光学设备（上海）有限公司
联系地址：上海市静安区汶水路210号静安新业坊5号楼南楼3-4层
联系电话：021-2316-3200（总机）