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电子部品&材料

波滤波器SiO2用溅镀机


EC7430

波滤波器SiO2用溅镀机


EC7430是波滤波器的SiO2用溅射设备。可对应4英寸和6英寸基板。

使用独自的双阴极及基板旋转溅射技术达到高端波滤波器要求的严格的填空工艺的均匀性及稳定性。


参数




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公司名称:佳能光学设备(上海)有限公司

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