佳能FPA-3030平台继承了上一代FPA-3000，同时在性能和生产率上得到了改进，推出的FPA-3030i5a能够提供低于0.35微米的成像分辨率，同时实现了CoO（Cost of Ownership）的进一步降低。佳能开发的FPA-3030i5a光刻机可以满足对于节能环保产品和MEMS制造所需的高成像和高精度的要求。

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