NC7900 

MRAM用溅镀机

NC7900是非挥发存储器MRAM的MTJ层多层膜的溅射设备。

从研究开发到量产设备可依据要求灵活配备各种工艺腔。

多年的斜角溅射配合基板旋转的技术和磁性材料的经验可良好控制MRAM的多种超薄磁性膜特性。

独自开发的ALD-Like溅射工艺可控制MRAM关键的MgO超薄膜特性。

长年的MRAM开发及量产经验配合各种MTJ构造及工艺。

公司名称：佳能光学设备（上海）有限公司

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